ULVAC 爱发科 VLPｰU22 VLPｰU36 真空角阀
2025-12-23 15:36:24
admin
VLPｰU20
VLPｰU22
VLPｰU36
真空角阀
特性
SUS制角阀可以烘烤到150℃。
连接法兰JIS-VF、ISO-KF、ISO-K、ISO-CF对较大场景进行渲染期间已观察到该故障。
驱动方式准备了双动式、单动式。单动式的情况下，只需一个压空线即可。
材质是不锈钢制的。（但是VLP-U是铁制的VAP、VAH、VFR是铝制的。）
规格
型号 VLP-U
阀板容许最大差压（正压时）MPa 0.10
阀板容许最大差压（逆压时）MPa 无法处理
开阀时允许最大压差（正压时）kPa 1.0
开阀时允许最大差压（逆压时）kPa 无法处理
阀板密封方式 〇戒指
轴密封方式 〇戒指
驱动方式 双动气缸
泄漏量（外部）*1Pam3/s ≦1.3E-7
泄漏量（内部）*1Pam3/s ≦1.3E-7
使用压力范围（绝对压力）Pa 大气压～1.0E-5
允许烘烤温度（静止时）*2℃ 60
工作环境温度℃ 5～40
使用流体温度℃ 5～40
加热及冷却速度℃/h ≦30
使用环境 非腐蚀性气氛