大塚电子 OTSUKA 内置膜厚监控器 FE-3200I
2019-08-10 12:42:01
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特 長
分光干渉法を用いた膜厚計 高精度FFT膜厚解析エンジンを搭載（特許 第4834847号） オプティカルファイバーにより自由な測定系の構築が可能 各種製造装置への組み込みが可能 リアルタイムでの膜厚測定が可能 遠隔操作、多点測定に対応 長寿命、高安定性の白色LED光源を採用
測定項目
多層膜厚解析
用 途
光学フィルム（ハードコート、ARフィルム、ITOなど） FPD関連（レジスト、SOI、SiO2など） 仕 様
型式 FE-3/40C FE-3/200I 全測定方式 分光干渉式 測定膜厚範囲（ｎｄ値） 20 nm ～ 40 μm 3 μm ～ 200 μm 測定波長範囲 430 nm ～ 650 nm 900 nm ～ 1600 nm 膜厚精度 ± 0.2 nm 以内 *1 - 繰り返し精度 0.1 nm 以内 *2 - 測定時間 0.1 s ～ 10 s 以内 スポット径 約 φ 1.2 mm 光源 白色LED ハロゲン オプティカルファイバー 投受光用Y型ファイバー 1.5 ｍ ～ 100 m 寸法、重量 300（W) × 300（D） × 150（H） mm、 約 10 kg ソフトウェア ピークバレイ解析、FFT解析、最適化法解析 *1 VLSI社製膜厚スタンダード（100nm SiO2/Si）の膜厚保証書記載の測定保証値範囲に対して
*2 VLSI社製膜厚スタンダード（100nm SiO2/Si）の同一ポイント繰り返し測定時における拡張不確かさ（包括係数2.1）
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