日本ULVAC 爱发科 HGM2-302 气体分析仪 HGM2-202 通讯接口
2025-12-23 16:49:19
admin
气体分析仪
HGM2-202
HGM2-302
特点
测量质量范围 1～200 amu
各种研究和开发应用的理想选择 - 实现作为高端功能的最高感光度∀2.5×10-6A/Pa
通讯接口 - 支持以太网通讯
显示部分一体化的设计 无需电脑也可进行测量
操作简单 - One Click机能（对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作）
烘焙兼容 - 连接传感器单元时可进行高达 250°C 的高温烘烤（传感器单元断开时：300°C）
搭载DEGAS功能 - 采用电子冲击脱附法
维护 - 易于更换灯丝、离子源和二次电子倍增器
增强预防性维护功能 - 离子源和二次电子倍增器的预防性维护,配备分析管溯源功能（专利第5016031号）
增强检漏功能 - 能够进行氦气泄漏测试、空气泄漏测试和累积测试
可以测量总压力
标准搭载Qulee QCS软件
符合CE
用途
热脱附分析等各种研究开发
超高/超高真空抽气设备的残余气体分析等。
气体中痕量杂质的测量
与太阳能电池相关的研发
有机分析
环境测量
仕様
| 型式 | HGM2-202 | HGM2-302 | ||
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | |||
| 質量数範囲 | 1 ~ 200 amu | 1 ~ 300 amu | ||
| 分解能 | M/ ΔM=1M (10% P.H.) | |||
| 検出器 | ファラデーカップ | 二次電子倍増管 | ファラデーカップ | 二次電子倍増管 |
| 感度 | 2.5×10-6A/Pa @1.0mA | 4 A/Pa | 2.0×10-6A/Pa @1.0mA | 4 A/Pa |
| 最小検知分圧 | 10-9Pa台 | 10-13Pa台 | 10-9Pa台 | 10-13Pa台 |
| 最大仕様圧力 | 1×10-2Pa | |||
| フィラメント | lr / Y2O3 2本 | |||
| イオン化電圧 | 25 ~ 70 eV (デフォルト:70eV) | |||
| エミッション電流 | 0.1mA/0.5mA/1.0mA (デフォルトは0.5mA) | |||
| DEGAS | 電子衝撃脱離方式 330V, 5mA | |||
| 全圧測定機能 | あり／ 10-2 ~ 10-5Pa | |||
| One Click機能 | あり／ He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |||
| One Clickリークチェック機能 | あり | |||
| 電源電圧 | DC24V±10% 50W | |||
| 質量 (センサユニット/分析管) | 2.4kg / 0.81kg | |||
| 最大ベーキング温度 (センサユニット接続時) | 250℃ | |||
| 最大ベーキング温度 (センサユニット脱着時) | 300℃ | |||
| 使用温度範囲 | 10 ~ 40℃ | |||
| 使用湿度範囲 | 15 ~ 80% (ただし結露無きこと) | |||
| IP保護等級 | IP30 (センサユニット) | |||
| 電源コネクタ | MSTBV2.5 / 3-STF-5.08 | |||
| 通信インターフェース | Ethernet仕様 | |||
| 外部入出力コネクタ | D-sub15ピン／M2.6ネジ(オプション) | |||
| 通信コネクタ | RJ45 | |||
| 外部入出力信号 | アナログ入力 (0-10V)×2、外部インターロック入力 (圧力保護)×1、エラー出力×1 (FIL、SEM、RF異常時)、分圧セットポイント出力×2 (異常、警告)、全圧セットポイント出力×1 | |||
| ソフトウェア | Qulee QCS Ver4.2以降（Windows 8/10/11対応） | |||
| 標準付属品 | 電源コネクタ、LANケーブル(3m)、ソフトウェア(インストールCD)、取扱説明書(CD) | |||
| オプション (Quleeオプションカタログ参照) | LANケーブル (10,15,20,30,50m)、ACアダプタ、USB-LANアダプタ、スイッチングハブ (8ポート又は16ポート)、入出力コネクタ、ジャケットヒータ、キャリーケース | |||
| 適合規格 | CE | |||
※AC電源でご使用される場合は、必ずACアダプタをご準備ください(Quleeオプションカタログ参照)