日本ULVAC 爱发科 BGM2-201 气体分析仪 BGM2-101 可以测量总压力
2025-12-23 16:50:44
admin
气体分析仪
BGM2-101
BGM2-201
BGM2-102
BGM2-202
残留气体分析仪(RGA)，革命性的简单易操作。它是响应各种生产线设备技术的要求而出现的工艺监控器的新标准。最适合真空蒸发装置和各种真空炉的设备管理。
特点
性价比优异的通用规格
测量质量范围 1～200 amu
显示部分一体化设计・・・无需电脑也可进行测量
操作简单 - One Click机能・・・对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作
增强检漏功能
可以测量总压力
标准搭载Qulee QCS软件
符合CE
用途
真空蒸发设备和溅射设备等成膜设备的残留气体分析
高真空排气设备的残留气体分析
冷冻干燥设备的残留气体分析
研究开发用途的各种气体分析
仕様
分解能M/△M=1M(10% P.H.)
| 型式 | BGM2-101 | BGM2-201 | BGM2-102 | BGM2-202 |
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | |||
| 質量数範囲 | 1～100 amu | 1～200 amu | 1～100 amu | 1～200 amu |
| 検出器 | ファラデーカップ | 二次電子増倍管 ファラデーカップ | ||
| 感度 | 10-7A/Pa | 4A/Pa | ||
| 最小検知分圧 | 10-8Pa | 10-12Pa | ||
| 最大使用圧力 | 1x10-2Pa | |||
| 全圧測定機能 | あり | |||
| One Click機能 | あり/He/H2O/N2/O2/Any gas | |||
| One Click リークチェック機能 | あり | |||
| 電源電圧 | DC24V±10％ 50W | |||
| 最大ベーキング 可能温度 (センサユニット接続時) | 120℃ | |||
| 最大ベーキング 可能温度 (センサユニット脱着時) | 250℃ | |||
| 使用温度範囲 | 10～40℃ | |||
| ソフトウェア | Qulee QCS Ver4.2以降（Windows 8/10/11対応） | |||
| 適合規格 | CE | |||