KASHIYAMA 樫山工业 SDL20E50 干真空泵 SDL12E50 高速排气缩短
2026-04-28 16:11:50
admin
干真空泵
SDL12E50
SDL20E50
SDL36E60
SDL3600
特点
有效应对晶圆、FPD的大尺寸化
通过组合可实现大排量化，满足15万L/min以上的性能需求。
通过高速排气缩短点火提前短缩
通过确保大气侧排气速度，实现大型路锁腔室的高速排气，从而缩短节拍时间。